用語解説

表面処理等で硬化膜処理を施した材料の有効硬化層が薄い場合にロックウェル硬度測定機、普通のビッカース硬度測定機でダイヤモンド圧子を当てると荷重窪みの深さが硬化層より深いところまで到達してしまうので膜硬度ではなく母材の硬度を測っているのと同じ事になってしまいます。このため基準荷重をもっと小さくして微細部品、硬化膜、有効効果層深さなどの硬度を計測するための機械としてマイクロビッカース試験機が使われます。